国内および国際登録特許 / Registered domestic and international patents
  1. Y. Itoh and H. Sunami, “CHARGE COUPLED SEMICONDUCTOR ELEMENT WITH NOISE CANCELLATION,” US Patent 3814955, June 4, 1974.
  2. Y. Itoh, H. Sunami, and Y. Kamigaki, “CHARGE-COUPLED SEMI-CONDUCTOR DEVICE PROVIDED WITH BIASING GHARGES,” US Patent 3852801, Dec. 3, 1974.
  3. 伊藤容吉, 角南英夫, 堀内勝忠, 「多層配線構造体」日本特許, 登録番号P813357, 1976年4月30日.
  4. Y. Kamigaki, H. Sunami, and Y. Itoh, “Information signal transfer method and a charge transfer,” US Patent 4013897, Mar. 22, 1977.
  5. 角南英夫, 伊藤容吉, 猪瀬文之, 神垣臭昭, 「電荷移送形素子を用いたXY双方向シフトアレー」 日本特許, 登録番号P859898、1977年5月23日.
  6. 角南英夫, 神垣良昭, 「電荷移送撮像装置」日本特許, 登録番号P867810, 1977年6月30日.
  7. H. Sunami, Y. Itoh, F. Inose, and Y. Kamigaki, “Shift array for pattern information processing device utilizing charge coupled semiconductor device,” US Patent 4041521, Aug. 9, 1977.
  8. 伊藤容吉, 角南英夫, 「電荷移送形素子」日本特許, 登録番号P920616, 1978年8月22日.
  9. 角南英夫, 神垣良昭, 伊藤容吉,「アナログ電荷移送形素子」日本特許, 登録番号P919809, 1978年8月22日.
  10. 神垣良昭, 角南英夫, 伊藤容吉, 「電荷移送形索子における信号伝達方式および装置」日本特許, 登録番号P907678, 1978年5月8日.
  11. 角南英夫, 神垣良昭, 伊藤容吉, 「電荷移送形アナログディジタル変換半導体装置」日本特許, 登録番号P927026, 1978年9月22日.
  12. H. Sunami, M. Kubo, and I. Takemoto, “Charge transfer semiconductor device,” US Patent 4177391, Dec. 4, 1979.
  13. H. Sunami, “Method for fabricating a field effect transistor,” US Patent 4210993, July 8, 1980.
  14. 伊藤容吉, 角南英夫, 神垣良昭,「自己バイアス形電荷移送素子」日本特許, 登録番号P1007028、1980年7月31日.
  15. 角南英夫, 「電荷移送装置」日本特許, 登録番号P991381, 1980年3月27日.
  16. 角南英夫, 西松茂, 「エッチング法」日本特許, 登録番号P1041928, 1981年4月23日.
  17. 角南英夫, 「自己整合エッチング法」日本特許, 登録番号P1096508, 1982年5月14日.
  18. Y. Sakai, M. Koyanagi, H. Sunami, and N. Hashimoto, “Semiconductor memory device,” US Patent 4355374, Oct. 19, 1982.
  19. 角南英夫、西松茂, 「集積回路製造法」日本特許, 登録番号P1193170, 1984年2月29日.
  20. 増原利明, 湊修, 下東勝博, 増田弘生, 角南英夫, 酒井芳男, 神垣良略, 武田英次, 萩原隆且, 「半導体集積回路とその回路ブログラム方法」日本特許, 登録香号P1211158, 1984年6月12日.
  21. 湊修、増原利明、下東勝博, 増田弘生, 角南英夫, 酒井芳男, 神壇良昭, 武田英次, 萩原隆且, 「半導体集積回路とその回路プログラム方法」日本特許, 登録番号P1211177, 1984年6月12日
  22. 湊修, 増原利明, 下東勝博, 増田弘生, 角南英夫, 酒井芳男, 神垣良昭, 武田英次, 萩原隆且, 「半導体集積回路とその回路プログラム方法」日本特許, 登録香号P1213702, 1984年6月27.
  23. T. Masuhara, O. Minato, K. Shimohigashi, H. Masuda, H. Sunami, Y. Sakai, Y. Kamigaki, E. Takeda, and Y. Hagiwara, “Programmable semiconductor integrated circuitry including a programming semiconductor element,” US Patent 4455495, June 19, 1984.
  24. 小池紀雄, 増原利明, 角南英夫, 小柳光正, 「固体撮像素子」日本特許, 登録香号P1216311, 1984年7月17日.
  25. 角南英夫, 宮崎隆雄,「半導体装置の製造方法」日本特許, 登録番号P1259532, 1985年4月12日.
  26. 角南英夫, 西松茂,「半導体記億装置」日本特許, 登録番号P1264351, 1985年5月16日.
  27. M. Tamura, N. Yoshihiro, N. Natsuaki, M. Miyao, M. Ohkura, H. Sunami, and T. Tokuyama. “Method of manufacturing single-crystal film,” US Patent 4498951, Feb. 12, 1985.
  28. 角南英夫,「電荷移送装置」日本特許, 登録番号P1319716, 1986年5月29日.
  29. 角南英夫, 湊修, 増原利明, 酒井芳男, 和田恭雄,「半導体装置」日本特許, 登録番号P1328415, 1986年7月30日.
  30. 角南英夫,「電界効果トランジスタ」日本特許, 登録番号P1344386, 1986年10月29日.
  31. K. Kimura, R. Hori, K. Itoh, and H. Sunami, “Semiconductor memory device having a dummy cell and a memory cell which is twice the size of the dummy cell,” US Patent 4641279, Feb. 3, 1987.
  32. 増原利明, 角南英夫, 神垣良昭, 橋本哲一,「半導体装置の製造方法」日本特許, 登録番号P1364079, 1987年2月9日.
  33. H. Sunami, H. Masuda, Y. Kamigaki, K. Shimohigashi, E. Takeda, “Insulated gate field effect transistor,” US Patent 4656492, Apr. 7, 1987.
  34. H. Sunami, M. Ohkura, and S. Kimura, “Complementary MOS integrated circuits having vertical channel FETs,” US Patent 4670768, June 2, 1987.
  35. 神垣良昭, 伊藤清男, 角南英夫, 川本佳史, 谷田雄二, 小柳光正, 水尾祥一, 橋本哲一,「半導体装置の製造方法」日本特許, 登録番号P1394501, 1987年8月11日.
  36. 増田弘生, 角南英夫, 伊藤清男,「MOS型集積回路の製造方法」日本特許, 登録番号P1394501, 1987年8月11日.
  37. S. Kimura, E. Murakami, T. Warabisako, K. Miyake, and H. Sunami, “Plasma treatment system,” US Patent 4683838, Aug. 4, 1987.
  38. 神垣良昭, 伊藤清男, 堀陵一, 川本佳史, 角南英夫, 橋木哲一,「半導体装置の製造方法」日本特許, 登録番号P1399344, 1987年9月7日.
  39. M. Moniwa, T. Warabisako, and H. Sunami, “Process for manufacturing semiconductor devices containing micro bridges,” US Patent 4692994, Sep. 15, 1987.
  40. A. Saiki, M. Suzuki, H. Sunami, S. Asai, M. Maki, and K. Asami, “Clean room,” US Patent 4693173, Sep. 15, 1987.
  41. S. Kimura and H. Sunami, “Process for producing memory cell having stacked capacitor,” US Patent 4742018, May 3, 1988.
  42. H. Sunami, T. Kure, Y. Kawamoto, M. Tamura, and M. Miyao, “Dram with FET stacked over capacitor,” US Patent 4751557, June 14, 1988.
  43. 角南英夫, 川本佳史,「半導体装置の製造方法」日本特許, 登録香号P1465967, 1988年11月10日.
  44. 角南英夫, 西松茂,「半導体記億装置」日本特許, 登録番号P1501554, 1989年6月28日.
  45. 増原利明, 角南英夫, 神垣良昭, 橋本哲一,「半導体装置の製造方法」日本特許, 登録番号P1485472, 1989年3月14日.
  46. 角南英夫, 川本佳史,「半導体メモリの製造方法」日本特許, 登録番号P1475350, 1989年1月18日.
  47. H. Sunami, T. Kure, A. Hiraiwa, Y. Wada , “Semiconductor memory using trench capacitor,” US Patent 4860071, Aug. 22, 1989.
  48. T. Kaga, S. Kimura, T. Kure, Y. Kawamoto, and H. Sunami, “Method for formation of insulation film on silicon buried in trench,” US Patent 4873203, Oct. 10, 1989.
  49. H. Sunami, S. Kimura, and T. Kaga, “Dynamic random access memory having buried word lines,” US Patent 4873560, Oct. 10, 1989.
  50. 谷田雄二, 角南英夫, 他4名,「不揮発性記憶装置の製造方法」日本特許, 登録番号P1524265, 1989年10月12日.
  51. H. Sunami, T. Kure, M. Miyao, Y. Kawamoto, K, Shimohigashi, Y. Sakai, O. Minato, T. Masuhara, M. Koyanagi, and S. Shimizu, “Semiconductor memory,” US Patent 4901128, Feb. 13, 1990.
  52. 角南英夫, 西松茂,「半導体記億装置」日本特許, 登録香号P1542863, 1990年2月15日.
  53. 角南英夫, 西松茂,「半導体記億装置」日本特許, 登録番号P1542864, 1990年2月15日.
  54. T. Kaga, S. Kimura, and H. Sunami, “Semiconductor memory having trench capacitor formed with sheath electrode,” US Patent 4918502, Apr. 17, 1990.
  55. H. Sunami, M. Ohkura, M. Miyao, K. Kusukawa, M. Moniwa, S. Kimura, T. Warabisako, and T. Kure, “Semiconductor memory and method of producing the same,” US Patent 4937641, June 26, 1990.
  56. T. Kaga, Y. Kawamoto, and H. Sunami, “Vertical dynamic random access memory,” US Patent 4967247, Oct. 30, 1990.
  57. H. Sunami, T. Kure, Y, Kawamoto, M. Tamura, and M. Miyao, “Vertical MOSFET DRAM,” US Patent 4984030, Jan. 8, 1991.
  58. H. Sunami, M. Ohkura, M. Miyao, K. Kusukawa, M. Moniwa, S. Kimura, T. Warabisako, and T. Kure, “Semiconductor memory and method of producing the same,” US Patent 4984038, Jan. 8, 1991.
  59. S. Kimura, Y. Kawamoto, T. Kaga, and H. Sunami, “Semiconductor memory having stacked capacitor,” US Patent 5012310, Apr. 30, 1991.
  60. H. Sunami, T. Kure, and Y. Kawamoto, “Semiconductor memory and method for fabricating the same,” US Patent 5017981, May 21, 1991.
  61. T. Kaga, Y. Kawamoto, and H. Sunami, “Process for manufacturing vertical dynamic-random access memories,” US Patent 5106775, Apr. 21, 1992.
  62. H. Sunami, T. Kure, M. Miyao, Y. Kawamoto, K. Shimohigashi, Y. Sakai, O. Minato, T. Masuhara, M. Koyanagi, and S. Shimizu, “Semiconductor memory,” US Patent 5214496, May 25, 1993.
  63. H. Sunami, T. Kure, M. Miyao, Y. Kawamoto, K. Shimohigashi, Y. Sakai, O. Minato, T. Masuhara, M. Koyanagi, and S. Shimizu, “Semiconductor memory,” US Patent 5237528, Aug. 17, 1993.
  64. H. Sunami, T. Nishino, S. Shukuri, Y. Wada, Y. Misawa, and T. Kato, “Semiconductor integrated circuit device having superconductive layer and iso1ation method with nitride isolation,” US Patent 5266815, Nov. 30, 1993.
  65. H. Sunami, T. Kure, Y. Kawamoto, M. Tamura, and M. Miyao, “Semiconductor memory with trench capacitor,” US Patent 5357131, Oct. 18, 1994.
  66. T. Akiba, G. Kitsukawa, H. Otori, M. Nakamura, H. Sunami, and A. Hyslop, “Sense amplifier driver having variable power-supply voltage,” US P 6028800, February 22, 2000.
  67. K. Nakazato, K. Itoh, H. Mizuta, T. Shimada, H. Sunami, T. Teshima, T. Mine, and K. Yamaguchi, “Controllable conduction device,” US Patent 6060723, May 9, 2000.
  68. H. Sunami, K. Itoh, T. Shimada, K. Nakazato, and H. Mizuta; Hiroshi, “Semiconductor memory device and manufacturing method thereof,” US Patent 6169308, January 2, 2001.
  69. K. Nakazato, K.Itoh, H. Mizuta, T. Shimada, H. Sunami, T. Teshima, T. Mine, K. Yamaguchi, “Controllable conduction device," US Patent 6211531, April 3, 2001.
  70. H. Sunami, T. Kure, and Y. Kawamoto, “Method for fabricating semiconductor memory with a groove," US Patent 6355517, March 12, 2002.
  71. H. Sunami, K. Itoh;, T. Shimada, K. Nakazato, and H. Mizuta, “Semiconductor memory device and manufacturing method thereof,” US Patent 6642574, November 4, 2003.
  72. H. Sunami, K. Itoh;, T. Shimada, K. Nakazato, and H. Mizuta, “Semiconductor memory device and manufacturing method,” US patent 6825527, November 30, 2004.
  73. K. Nakazato, K. Itoh, T. Shimada, H. Sunami, T. Teshima, T. Mine, and K. Yamaguchi, “Controllable conduction device with electrostatic barrier,” US Patent 7019359, March 28, 2006.
日本特許出願 / Japanese patents applied
通番
出願番号
公開番号
国際公開
番号
登録番号
発明の名称
出願人(略称)
発明者
262 2003-117826 2004-327568 半導体装置 科学技術振興機構 吉川 公麿;岩田 穆;角南 英夫;マタウシユ ハンスユルゲン;横山 新;芝原 健太郎;中島 安理;小出 哲士;エ−ビ−エム ハルン ウル ラシツド;渡辺 慎治
261 平10-532326   WO98/ 028789   半導体記憶装置及びその製造方法 日立製作所 山中 俊明;木村 紳一郎;松岡 秀行;角南 英夫;伊藤 清男;関口 知紀;阪田 健;宮崎 祐行
260 平09-274090 平11-111929   3554666 半導体メモリ装置 日立製作所;
ヒタチ ヨ−ロツパ
角南 英夫;伊藤 清男;島田 寿一;中里 和郎;水田 博
259 平09-240030 平11- 87541   3489973 柱状構造を有する半導体装置 日立製作所 中里 和郎;水田 博;島田 寿一;角南 英夫;伊藤 清男;手島 達也;峰 利之
258 平08-333372 平10-173148  
 
半導体記憶装置 日立製作所 松岡 秀行;山中 俊明;角南 英夫;木村 紳一郎;伊藤 清男
257 平08-176305 平09-198865  
 
半導体メモリ、半導体集積回路装置、制御回路、論理回路、および論理回路の特性を調節する方法 日立製作所;テキサスインストルメンツ 秋葉 武定;大鳥 浩;橘川 五郎;中村 正行;角南 英夫;エイデイン イ− ヒスロツプ
256 平08-124331 平08-274281   2679702 半導体記憶装置の製造方法 日立製作所 木村 紳一郎;川本 佳史;加賀 徹;角南 英夫
255 平03- 28257 平05-308132   2069680 半導体メモリの製造方法 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史
254 平03- 25993 平03-268357   2099446 半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史;田村 誠男;宮尾 正信
253 平02-295338 平03-174768   1899602 半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史;宮尾 正信
252 平02-126709 平03- 16124     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史
251 平01-152215 平03- 20550   2747024 清浄室 日立製作所;
日立プラント;
日立建設設計
斉木 篤;角南 英夫;矢木 邦博;川本 佳史;船越 清彦;亀山 正義;倉水 勝;高森 昶光;河合 秀直;鈴木 道夫
250 平01- 27417 平02-?? 354   1745808 大規模半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史
249 平01-? 6004 平02-? 3179   1694776 メモリ装置 日立製作所 湊 修;増原 利明;下東 勝博;増田 弘生;神垣 良昭;萩原 吉宗;角南 英夫;酒井 芳男;武田 英次
248 平01-? 6003 平02-? 3178   1694775 メモリ装置 日立製作所 湊 修;増原 利明;下東 勝博;増田 弘生;神垣 良昭;萩原 吉宗;角南 英夫;酒井 芳男;武田 英次
247 昭63-250914 平02- 98970   2021944 縦型接合型電界効果トランジスタの製造方法 産業技術総合研究所 中川 清和;宮尾 正信;山口 憲;角南 英夫
246 昭63-150281 平01-152661   1862143 半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史;宮尾 正信
245 昭63- 69426 平01- 53433   3009146 半導体集積回路 日立製作所 角南 英夫;西野 寿一;三沢 豊;加藤 隆彦
244 昭62-314024 平01-155656     半導体記憶装置 日立製作所 木村 紳一郎;川本 佳史;角南 英夫
243 昭62-310821 平01-152660   2606857 半導体記憶装置の製造方法 日立製作所 加賀 徹;川本 佳史;角南 英夫
242 昭62-275784 平01-120050     半導体記憶装置 日立製作所;
日立超L
木須 輝明;妹尾 幸治;久礼 得男;角南 英夫;木村 紳一郎
241 昭62-253631 平01- 96949     半導体装置 日立製作所 木村 紳一郎;川本 佳史;角南 英夫
240 昭62-247819 平01- 91009     薄膜の平坦性評価装置 日立製作所 高橋 繁;角南 英夫;船越 清彦;奥平 定之;田村 誠男;吉広 尚次;恒川 助芳;加賀 徹
239 昭62-223922 平01- 67982     無摺動スイツチ 日立製作所 角南 英夫;西野 寿一;宮内 克己
238 昭62-190024 平01- 35963     不揮発性メモリ 日立製作所 神力 博;西岡 泰城;角南 英夫;向 喜一郎;山本 英明
237 昭62-187539 平01- 32629     エツチング装置 日立製作所 角南 英夫;奥平 定之;川本 佳史;久礼 得男;田村 誠男;吉広 尚次;恒川 助芳;船越 清彦;加賀 徹;高橋 繁
236 昭62-185481 平01- 30248     溝上絶縁膜の形成方法 日立製作所 加賀 徹;木村 紳一郎;久礼 得男;川本 佳史;角南 英夫
235 昭62-166782 平01- 11360     半導体記憶装置 日立製作所;
日立超L
大木 長斗司;牧野 藤八;加賀 徹;角南 英夫;清水 昭博
234 昭62-153306 昭63-318130   2634595 半導体製造装置 日立製作所 加賀 徹;角南 英夫;田村 誠男;奥平 定之;船越 清彦;吉広 尚次;恒川 助芳;高橋 繁
233 昭62-148961 昭63-313823     プラズマ処理方法及び装置 日立製作所 恒川 助芳;角南 英夫;奥平 定之;田村 誠男;船越 清彦;吉広 尚次;加賀 徹;高橋 繁
232 昭62-139728 昭63-304259     レイアウト方法 日立製作所 松沢 敏晴;角南 英夫;茂庭 明美;加賀 徹;木村 紳一郎
231 昭62-139716 昭63-304124     温度感知器 日立製作所 角南 英夫
230 昭62-128297 昭63-293967   2569048 半導体メモリの製造方法 日立製作所;
日立超L
木須 輝明;高浜 高;木村 紳一郎;角南 英夫;大賀 一弘
229 昭62-128124 昭63-293814     ウエハ処理の情報伝達方法 日立製作所 奥平 定之;角南 英夫;船越 清彦;田村 誠男;吉広 尚次;恒川 助芳;高橋 繁;加賀 徹
228 昭62-121233 昭63-288009     ウエハとウエハ処理工程管理方法 日立製作所 角南 英夫;田村 誠男;奥平 定之;船越 清彦;吉広 尚次;加賀 徹;高橋 繁;恒川 助芳
227 昭62-114633 昭63-281466     自己整合接続法 日立製作所 角南 英夫;須藤 敬己
226 昭62-114620 昭63-280293   2559405 透光性平面スピ−カ付き平面表示装置 日立製作所 御子柴 茂生;福島 正和;鴻上 明彦;武田 康嗣;塚田 俊久;角南 英夫
225 昭62- 99763 昭62-271450     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;川本 佳史
224 昭62- 97394 昭63-263757     半導体記憶装置およびその製造方法 日立製作所;
日立超L
木須 輝明;木村 紳一郎;角南 英夫;大木 長斗司
223 昭62- 97300 昭63-263758     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;木村 紳一郎;加賀 徹
222 昭62- 77416 昭63-245954     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;木村 紳一郎;加賀 徹
221 昭62- 63761 昭63-232318     微細パタ−ン形成方法 日立製作所 松沢 敏晴;角南 英夫;茂庭 明美
220 昭62- 24529 昭63-193555   2602219 半導体記憶装置 日立製作所 木村 紳一郎;川本 佳史;加賀 徹;角南 英夫
219 昭62- 24528 昭63-193556     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;加賀 徹;木村 紳一郎
218 昭62- 18329 昭63-187664     半導体装置 日立製作所;
日立超L
清水 昭博;角南 英夫
217 昭61-281722 昭63-136559   2674992 半導体記憶装置におけるプレ−ト配線形成法 日立製作所 加賀 徹;木村 紳一郎;角南 英夫
216 昭61-281716 昭63-136558     半導体記憶装置とその製造方法 日立製作所 加賀 徹;木村 紳一郎;角南 英夫
215 昭61-179920 昭63- 37613     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;茂庭 昌弘;蕨迫 光紀;宮尾 正信
214 昭61-142992 昭63-? 1052     半導体記憶装置とその製造方法 日立製作所 木村 紳一郎;角南 英夫;久礼 得男
213 昭61-104651 昭61-263153   1690710 半導体記憶装置およびその製造方法 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
212 昭61- 60645 昭62-219659     MOS型半導体記憶装置 日立製作所 木村 紳一郎;西岡 泰城;神力 博;佐久間 憲之;角南 英夫
211 昭61- 15617 昭62-175036     信号伝送路 日立製作所 茂庭 昌弘;花谷 昌一;角南 英夫
210 昭61-?? 546 昭61-165965     高集積化電源素子 日立製作所 角南 英夫;宮内 克己;兼堀 恵一;工藤 徹一
209 昭60-279263 昭62-139318     低温気相成長法 日立製作所 高橋 亮吉;井上 洋典;角南 英夫
208 昭60-269397 昭62-130550     MIS型キヤパシタの製造方法 日立製作所 木村 紳一郎;西岡 泰城;神力 博;佐久間 憲之;角南 英夫
207 昭60-267533 昭62-128168   2127461 半導体メモリの製造方法 日立製作所 木村 紳一郎;角南 英夫
206 昭60-235144 昭62- 95873     電界効果トランジスタ 日立製作所 山本 秀一;村上 英一;木村 紳一郎;大倉 理;蕨迫 光紀;角南 英夫
205 昭60-235137 昭62- 95859     半導体装置の製造方法 日立製作所 大倉 理;楠川 喜久雄;角南 英夫
204 昭60-175817 昭62- 36807     単結晶薄膜の製造方法 日立製作所 楠川 喜久雄;大倉 理;角南 英夫
203 昭60-167561 昭62- 29161     半導体装置 日立製作所 平岩 篤;小沢 正実;矢木 邦博;角南 英夫;久礼 得男
202 昭60-167559 昭62- 29160     半導体装置の製造方法 日立製作所 平岩 篤;矢木 邦博;角南 英夫;久礼 得男
201 昭60-148392 昭62-? 9664     半導体装置 日立製作所 大倉 理;楠川 喜久雄;角南 英夫
200 昭60-134095 昭61-292914     半導体装置の製造方法 日立製作所 平岩 篤;矢木 邦博;角南 英夫;久礼 得男
199 昭60-126032 昭61-284911     単結晶薄膜の形成方法 日立製作所 楠川 喜久雄;大倉 理;角南 英夫
198 昭60-114076 昭61-272923     拡散法 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;平岩 篤;和田 恭雄
197 昭60-110475 昭61-269307   1978272 CVD装置 日立製作所 高橋 亮吉;角南 英夫;井上 洋典;鈴木 誉也
196 昭60- 95901 昭61-255056   2008503 半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;平岩 篤;和田 恭雄
195 昭60- 93745 昭61-252656   1973686 半導体装置およびその製造方法 日立製作所 茂庭 昌弘;蕨迫 光紀;角南 英夫
194 昭60- 93604 昭61- 10255   1485472 半導体装置の製造方法 日立製作所 増原 利明;角南 英夫;神垣 良昭;橋本 哲一
193 昭60- 44797 昭61-204960     マイクロキヤパシタ形成方法 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;平岩 篤;和田 恭雄
192 昭60- 42636 昭62-194572     シミユレ−シヨン方法 日立製作所 高橋 亮吉;松田 正敏;井坂 光明;角南 英夫
191 昭60- 32625 昭61-193422     単結晶層の形成方法 日立製作所 角南 英夫;茂庭 昌弘;蕨迫 光紀;宮尾 正信
190 昭60- 30371 昭61-190976     半導体装置 日立製作所 山口 憲;堀内 勝忠;西村 玲子;角南 英夫
189 昭60- 26230 昭61-187355     半導体キヤパシタ 日立製作所 角南 英夫
188 昭60- 23085 昭61-183969     電界効果トランジスタ 日立製作所 角南 英夫
187 昭60-? 5762 昭61- 50368     半導体装置の製造方法 日立製作所;
日本電信電話
神垣 良昭;伊藤 清男;堀 陵一;川本 佳史;角南 英夫;橋本 哲一;村本 進
186 昭59-272920 昭61-151449     電子線回折装置 日立製作所 茂庭 昌弘;宮尾 正信;蕨迫 光紀;角南 英夫;斉藤 栄
185 昭59-257581 昭60-157261     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫
184 昭59-211376 昭61- 91434   1876136 クリ−ンル−ム 日立製作所;
日立プラント
斉木 篤;鈴木 道夫;角南 英夫;浅井 彰二郎;牧 道義;浅見 欽一郎
183 昭59-211375 昭61- 91433     クリ−ンル−ム 日立製作所;
日立プラント
斉木 篤;鈴木 道夫;角南 英夫;浅井 彰二郎;牧 道義;浅見 欽一郎
182 昭59-178318 昭61- 58234     現像シユミレ−シヨン方法 日立製作所 松沢 敏晴;梅谷 征雄;角南 英夫
181 昭59-137140 昭61- 17293     半導体メモリ装置 日立製作所 木村 勝高;堀 陵一;伊藤 清男;角南 英夫
180 昭59-133150 昭61- 13634     プラズマ処理装置 日立製作所 村上 英一;木村 紳一郎;蕨迫 光紀;三宅 潔;角南 英夫
179 昭59-133148 昭61- 13626     プラズマ処理装置 日立製作所 木村 紳一郎;村上 英一;蕨迫 光紀;三宅 潔;角南 英夫
178 昭59-121726 昭60- 35567     半導体メモリ 日立製作所 酒井 芳男;小柳 光正;角南 英夫;橋本 哲一
177 昭59-121725 昭60- 35566     半導体装置の製造方法 日立製作所 酒井 芳男;小柳 光正;角南 英夫;橋本 哲一
176 昭59-101684 昭60-246619   1994525 半導体装置の製造方法 日立製作所 茂庭 昌弘;宮尾 正信;角南 英夫
175 昭59- 81750 昭60-226185   1968465 縦型電界効果トランジスタ 日立製作所 蕨迫 光紀;角南 英夫
174 昭59- 45468 昭60-189962     半導体集積回路 日立製作所 角南 英夫
173 昭59- 45467 昭60-189964     半導体メモリ 日立製作所 谷田 雄二;角南 英夫;湊 修;青木 正和;高木 克明;堀口 真志;田村 誠男
172 昭59- 21698 昭60-167474     マイクロチヤネルトランジスタ 日立製作所 角南 英夫;宿利 章二;田村 誠男
171 昭59- 16106 昭59-139193   1636023 メモリ装置 日立製作所 湊 修;増原 利明;下東 勝博;増田 弘生;神垣 良昭;萩原 吉宗;角南 英夫;酒井 芳男;武田 英次
170 昭59- 11966 昭60-158664     半導体装置およびその製造方法 日立製作所 小林 伸好;岩田 誠一;山本 直樹;角南 英夫
169 昭59- 11919 昭60-158616     半導体装置の製造方法 日立製作所 大倉 理;角南 英夫;楠川 喜久雄
168 昭59- 11906 昭60-158667     半導体装置 日立製作所 茂庭 昌弘;宮尾 正信;角南 英夫
167 昭58-246948 昭60-140861     マイクロキヤパシタ半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;大倉 理;宮尾 正信;楠川 喜久雄;茂庭 昌弘;木村 紳一郎;蕨迫 光紀;久礼 得男
166 昭58-246947 昭60-140860     半導体装置 日立製作所 井倉 康雄;西村 玲子;山口 憲;萩原 隆旦;角南 英夫
165 昭58-246928 昭60-140812     半導体装置の製造方法 日立製作所 大倉 理;角南 英夫;楠川 喜久雄
164 昭58-243836 昭60-136318     半導体装置の製造方法 日立製作所 木村 紳一郎;村上 英一;蕨迫 光紀;角南 英夫;三宅 潔
163 昭58-242022 昭60-134468     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;宿利 章二;田村 誠男
162 昭58-236167 昭60-128622     エツチング法 日立製作所 角南 英夫;田村 誠男
161 昭58-236160 昭60-128654   1833142 半導体集積回路 日立製作所 角南 英夫;大倉 理;木村 紳一郎
160 昭58-222036 昭60-115254     半導体装置とその製造方法 日立製作所 久礼 得男;川本 佳史;角南 英夫;矢木 邦博
159 昭58-217719 昭59-103374   1501554 半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
158 昭58-217718 昭59-103373   1542864 半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
157 昭58-217717 昭59-103372     半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
156 昭58-217716 昭59-103371   1542863 半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
155 昭58-207426 昭60-100425     集積回路電極の形成方法 日立製作所 角南 英夫
154 昭58-207425 昭60-100464     半導体装置 日立製作所 角南 英夫
153 昭58-194269 昭60- 86815     半導体装置の製造方法 日立製作所 茂庭 昌弘;楠川 喜久雄;大倉 理;宮尾 正信;角南 英夫
152 昭58-186748 昭60- 79770     半導体メモリ 日立製作所 久礼 得男;角南 英夫
151 昭58-180252 昭60- 74555     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男
150 昭58-177957 昭60- 70757   1816391 半導体集積回路 日立製作所 角南 英夫
149 昭58-177952 昭60- 70758   2069347 半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;大倉 理;宮尾 正信;楠川 喜久雄;茂庭 昌弘;木村 紳一郎;蕨迫 光紀;久礼 得男
148 昭58-172933 昭60- 65561     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;伊藤 清男;本間 紀之
147 昭58-172931 昭60- 65559     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;大倉 理
146 昭58-156244 昭59- 56764     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;川本 佳史
145 昭58-146448 昭60- 38863     半導体装置の製造方法 日立製作所 川本 佳史;角南 英夫;堀 陵一;和田 恭雄;水谷 巽
144 昭58-146394 昭60- 38855   1741435 半導体装置およびその製造方法 日立製作所 久礼 得男;角南 英夫;川本 佳史
143 昭58-146388 昭60- 38809     半導体装置の製造方法 日立製作所 楠川 喜久雄;大倉 理;角南 英夫;宮尾 正信;茂庭 昌弘
142 昭58-141036 昭60- 32355     半導体装置とその製造方法 日立製作所 久礼 得男;角南 英夫;川本 佳史
141 昭58-127688 昭60- 21553   1854762 三次元集積回路 日立製作所 角南 英夫;大倉 理;楠川 喜久雄;宮尾 正信;茂庭 昌弘
140 昭58-115840 昭60-? 9154     半導体メモリとその製造方法 日立製作所 茂庭 昌弘;宮尾 正信;大倉 理;楠川 喜久雄;酒井 芳男;角南 英夫
139 昭58-115831 昭60-? 9166     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;岩田 誠一;山本 直樹;小林 伸好
138 昭58-102600 昭59-228762     マルチゲ−トトランジスタ 日立製作所 角南 英夫
137 昭58- 95727 昭59-222959   1926047 半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;大倉 理;楠川 喜久雄;宮尾 正信;蕨迫 光紀
136 昭58- 90687 昭59-217323     単結晶シリコンの製造方法 日立製作所 宮尾 正信;大倉 理;楠川 喜久雄;茂庭 昌弘;角南 英夫
135 昭58- 84182 昭59-210653     半導体装置の製造方法 日立製作所 和田 恭雄;佐藤 朗;久米 均;川本 佳史;伊藤 清男;堀 陵一;角南 英夫
134 昭58- 59243 昭59-186346     電極接続法 日立製作所 角南 英夫;岩田 誠一;山本 直樹;小林 伸好
133 昭58- 55066 昭59-182566     半導体装置 日立製作所 井坂 光明;酒井 芳男;角南 英夫
132 昭58- 37391 昭59-163816     単結晶シリコン膜の製造方法 日立製作所 宮尾 正信;大倉 理;楠川 喜久雄;茂庭 昌弘;三宅 潔;蕨迫 光紀;角南 英夫
131 昭58- 35812 昭59-161860     半導体メモリ装置 日立製作所 木村 勝高;堀 陵一;伊藤 清男;角南 英夫
130 昭58- 30719 昭59-158514     半導体装置の製造方法 日立製作所 大倉 理;宮尾 正信;楠川 喜久雄;蕨迫 光紀;角南 英夫
129 昭58- 22741 昭59-149047     半導体装置 日立製作所 西岡 泰城;本間 紀之;向 喜一郎;角南 英夫;木村 紳一郎
128 昭57-215424 昭59-106146     半導体メモリ 日立製作所 鳥谷部 達;角南 英夫;浅井 彰二郎
127 昭57-193413 昭59- 84416     単結晶薄膜の製造方法 日立製作所 楠川 喜久雄;大倉 理;宮尾 正信;蕨迫 光紀;角南 英夫
126 昭57-193412 昭59- 84488     半導体装置 日立製作所 茂庭 昌弘;宮尾 正信;大倉 理;蕨迫 光紀;角南 英夫;鳥谷部 達;山口 憲;萩原 隆旦
125 昭57-192478 昭59- 82761   1677755 半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史;宮尾 正信
124 昭57-187436 昭59- 78534     ドライエツチング装置 日立製作所 角南 英夫;飯島 普平;橋本 哲一
123 昭57-147535 昭59- 39070     半導体装置およびその製造方法 日立製作所;
日立マイコン
大賀 一弘;和田 恭雄;角南 英夫
122 昭57- 87945 昭58-206160     半導体装置の製造方法 日立製作所 和田 恭雄;角南 英夫;矢木 邦博;奥平 定之;久礼 得男;川本 佳史;松田 正敏
121 昭57- 84763 昭58-202550   1861603 半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史
120 昭57- 84762 昭58-202560     半導体装置およびその製造方法 日立製作所 久礼 得男;角南 英夫;川本 佳史
119 昭57- 83013 昭58-200541     エツチング方法 日立製作所 久礼 得男;角南 英夫;池田 清治;川本 佳史
118 昭57- 81427 昭58-199553     半導体装置の製造方法 日立製作所 久礼 得男;角南 英夫;和田 恭雄;奥平 定之
117 昭57- 79960 昭58-197824     半導体装置 日立製作所 恒川 助芳;本間 喜夫;小松 英雄;林田 哲哉;佐藤 朗;角南 英夫
116 昭57- 36418 昭58-154256   1714010 半導体装置 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史;田村 誠男;宮尾 正信
115 昭57- 18740 昭58-137245   1714004 大規模半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;久礼 得男;川本 佳史
114 昭57-? 7592 昭58-125295     集積化電源素子 日立製作所 角南 英夫;下東 勝博;宮内 克己;兼堀 恵一;工藤 徹一
113 昭56-164185 昭58- 66328     半導体装置の製造方法 日立製作所 宮尾 正信;武田 英次;大倉 理;久米 均;角南 英夫;田村 誠男;夏秋 信義;吉広 尚次;徳山 巍
112 昭56-160193 昭58- 61622     単結晶薄膜の製造方法 日立製作所 田村 誠男;吉広 尚次;夏秋 信義;宮尾 正信;大倉 理;角南 英夫;徳山 巍
111 昭56-131521 昭58- 33870     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;増田 弘生;神垣 良昭;下東 勝博;武田 英次
110 昭55-113512 昭57- 37852   1211177 半導体集積回路およびその回路プログラム方法 日立製作所 湊 修;増原 利明;酒井 芳男;下東 勝博;増田 弘生;角南 英夫;神垣 良昭;武田 英次;萩原 吉宗
109 昭54-134165 昭56- 58244   1213702 半導体集積回路およびその回路プログラム方法 日立製作所 湊 修;増原 利明;角南 英夫;酒井 芳男;武田 英次;下東 勝博;増田 弘生;神垣 良昭;萩原 吉宗
108 昭54-125404 昭56- 50531   1211158 半導体集積回路とその回路プログラム方法 日立製作所 増原 利明;湊 修;下東 勝博;増田 弘生;角南 英夫;酒井 芳男;神垣 良昭;武田 英次;萩原 吉宗
107 昭54-115293 昭56- 40270   1475350 半導体メモリの製造方法 日立製作所 角南 英夫;川本 佳史
106 昭54-114183 昭56- 38866   1465967 半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;川本 佳史
105 昭54- 97301 昭56- 23771     半導体メモリ 日立製作所 酒井 芳男;小柳 光正;角南 英夫;橋本 哲一
104 昭53-114627 昭55- 41738   1259532 半導体装置の製造方法 日立製作;
日本電信電話 
角南 英夫;宮崎 隆雄
103 昭53-103945 昭55- 30845   1524265 不揮発性記憶装置の製造方法 日立製作所 谷田 雄二;萩原 隆旦;角南 英夫;伊藤 容吉;近藤 隆二;南 真一
102 昭53- 18469 昭54-111783     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;川本 佳史
101 昭52- 82931 昭54- 18684   1300205 半導体装置の製造方法 日立製作所;
日本電信電話
神垣 良昭;伊藤 清男;角南 英夫;川本 佳史;谷田 雄二;小柳 光正;水尾 祥一;橋本 哲一;村本 進
100 昭52- 82930 昭54- 18683   1399344 半導体装置の製造方法 日立製作所;
日本電信電話
神垣 良昭;伊藤 清男;堀 陵一;川本 佳史;角南 英夫;橋本 哲一;村本 進
99 昭52- 67901 昭54-? 3470     エツチング法 日立製作所 谷田 雄二;角南 英夫
98 昭52- 65760 昭54-?? 990   1394501 MOS型集積回路の製造方法 日立製作所 増田 弘生;角南 英夫;伊藤 清男
97 昭52- 63381 昭53-149774   1193170 集積回路製造法 日立製作所;
日本電信電話
角南 英夫;西松 茂;村本 進
96 昭52- 59772 昭53-145572     半導体装置の製造方法 日立製作所 和田 恭雄;薄井 洪夫;角南 英夫
95 昭52- 22688 昭53-108385     半導体装置の製造方法 日立製作所 神山 孝光;角南 英夫
94 昭52- 22686 昭53-108384     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正;西松 茂
93 昭52- 22684 昭53-108383     半導体装置とその製造方法 日立製作所 堀 陵一;伊藤 清男;久保 征治;角南 英夫;橋本 哲一;西松 茂
92 昭52- 22683 昭53-108382   1328415 半導体装置 日立製作所 角南 英夫;湊 修;増原 利明;酒井 芳男;和田 恭雄
91 昭52- 22679 昭53-108381     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;飯島 晋平
90 昭52- 22674 昭53-108378     半導体装置の製造方法 日立製作所 小柳 光正;角南 英夫;西松 茂;橋本 哲一
89 昭52- 19242 昭53-105369     不純物濃度検出法 日立製作所 角南 英夫;和田 恭雄
88 昭52-? 4926 昭53- 90887     半導体メモリ装置の製造方法 日立製作所 増田 弘生;角南 英夫
87 昭52-? 4921 昭53- 90869     半導体装置の製造方法 日立製作所 飯島 晋平;角南 英夫
86 昭52-? 2889 昭53- 89381     集積回路の製造方法 日立製作所 角南 英夫
85 昭52-? 2888 昭53- 89328     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫
84 昭52-? 2395 昭53- 94780     半導体装置の製造方法 日立製作所 和田 恭雄;角南 英夫;西松 茂
83 昭52-??? 32 昭53- 85166     半導体装置の製造方法 日立製作所 谷田 雄二;角南 英夫;和田 恭雄
82 昭51-134053 昭53- 59372     マスク合せ方法 日立製作所 松沢 敏晴;角南 英夫;柳沢 寛;橋本 哲一
81 昭51-134051 昭53- 59371     マスク合わせ装置 日立製作所 松沢 敏晴;角南 英夫
80 昭51-123810 昭53- 49969     半導体記憶装置 日立製作所 小柳 光正;角南 英夫
79 昭51-122776 昭53- 48483     半導体装置の製造方法 日立製作所 小柳 光正;角南 英夫
78 昭51-122775 昭53- 48482     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正
77 昭51-114722 昭53- 40287     半導体装置の製造方法 日立製作所 甲藤 久郎;角南 英夫
76 昭51-114719 昭53- 40291   1364079 半導体装置の製造方法 日立製作所 増原 利明;角南 英夫;神垣 良昭;橋本 哲一
75 昭51-107794 昭53- 33586     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;西松 茂;武田 英次
74 昭51-101656 昭53- 27372     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭;橋本 哲一
73 昭51- 85086 昭53- 10985     半導体メモリの製造方法 日立製作所 角南 英夫
72 昭51- 81982 昭53- 10337   1041928 エツチング法 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
71 昭51- 77818 昭53-? 4475     エツチング方法 日立製作所 角南 英夫;和田 恭雄;長谷川 昇雄
70 昭51- 76385 昭53-? 3077     電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正;増原 利明;小池 紀雄
69 昭51- 76384 昭53-? 3081     集積回路配線法 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正;増原 利明;小池 紀雄
68 昭51- 75562 昭53-? 1428     半導体メモリ 日立製作所 小柳 光正;角南 英夫;佐藤 喜久治
67 昭51- 75554 昭53-? 1481     集積回路の配線法 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正
66 昭51- 74351 昭53-?? 979     半導体装置の製造方法 日立製作所 湊 修;久保 征治;角南 英夫
65 昭51- 66532 昭52-149989     半導体メモリ 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正
64 昭51- 63614 昭52-147017   1216311 固体撮像素子 日立製作所 小池 紀雄;増原 利明;角南 英夫;小柳 光正
63 昭51- 61153 昭52-144979     トランジスタ 日立製作所 角南 英夫;和田 恭雄
62 昭51- 60014 昭52-143770     マスク合せ方法 日立製作所 角南 英夫
61 昭51- 57809 昭52-141590     半導体メモリセル 日立製作所 増原 利明;角南 英夫;小池 紀雄;小柳 光正
60 昭51- 53281 昭52-137275     半導体素子分離法 日立製作所 角南 英夫
59 昭51- 49952 昭52-133755     集積回路製造法 日立製作所 角南 英夫
58 昭51- 46585 昭52-130287     集積回路製造法 日立製作所 角南 英夫;谷田 雄二;西松 茂;橋本 哲一
57 昭51- 23316 昭52-107857     膜厚測定法 日立製作所 本田 征夫;角南 英夫;橋本 哲一
56 昭51- 21142 昭52-104879     半導体装置の製造方法 日立製作所 神垣 良昭;角南 英夫
55 昭51- 16041 昭52- 99777     マスク合せ方法 日立製作所 角南 英夫
54 昭51-? 2809 昭52- 86783     半導体装置の製造方法 日立製作所 長谷川 昇雄;角南 英夫;柳沢 寛;堂田 喜久雄;山本 直樹
53 昭51-? 2808 昭52- 86779     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正
52 昭51-? 2070 昭52- 86085     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫
51 昭50-153325 昭52- 77592     半導体装置の製造方法 日立製作所 角南 英夫
50 昭50-125316 昭52- 49767     半導体装置 日立製作所 角南 英夫
49 昭50-111622 昭52- 35983     電界効果トランジスタの製造方法 日立製作所 角南 英夫
48 昭50-104009 昭52- 28868     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;山本 直樹
47 昭50- 98585 昭52- 23274     自己整合型半導体装置 日立製作所 角南 英夫;川本 佳史;長谷川 昇雄
46 昭50- 96712 昭52- 20982     表面加工・表面処理の制御方法 日立製作所 川本 佳史;角南 英夫
45 昭50- 89251 昭52- 13781     接合型電界効果トランジスタ 日立製作所 角南 英夫
44 昭50- 89250 昭52- 13777     集積回路製造法 日立製作所 角南 英夫
43 昭50- 76633 昭52-? 2175     エツチング法 日立製作所 角南 英夫
42 昭50- 70832 昭51-147271     半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;小柳 光正;堀 陵一;西松 茂
41 昭50- 70830 昭52-? 2174   1096508 自己整合エツチング法 日立製作所 角南 英夫
40 昭50- 70829 昭51-147269   1344386 電界効果トランジスタ 日立製作所 角南 英夫
39 昭50- 58599 昭51-134584     掃引可変容量 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
38 昭50- 58598 昭51-134586     集積回路配線法 日立製作所 角南 英夫
37 昭50- 53883 昭51-130178   1264351 半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;西松 茂
36 昭50- 41335 昭51-117033     写真蝕刻法 日立製作所 角南 英夫;和田 恭雄;柳沢 寛
35 昭50- 35565 昭51-111071     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;川本 佳史;西松 茂
34 昭50- 17920 昭51- 93638     不揮発性記憶装置の制御装置 日立製作所 近藤 隆二;角南 英夫;堀内 勝忠
33 昭50-? 6259 昭51- 81578     半導体装置 日立製作所 角南 英夫;西松 茂;芦川 幹雄
32 昭49-17616 昭50-114181     電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫
31 昭48-108394 昭50-61193     半導体光検出装置 日立製作所 小池 紀雄;角南 英夫;芦川 幹雄
30 昭48-101200 昭50-54376     湿度検出装置 日立製作所 角南 英夫
29 昭48- 71715 昭50- 22584   1319716 電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫
28 昭48- 69792 昭50- 20625     電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫
27 昭48- 57945 昭50- 10042     不揮発性半導体記憶装置 日立製作所 神垣 良昭;堀内 勝忠;角南 英夫;伊藤 容吉
26 昭48- 57944 昭50- 10041     不揮発メモリ読み出し半導体装置 日立製作所 角南 英夫
25 昭48- 57942 昭50- 10039     不揮発性半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;堀内 勝忠;伊藤 容吉
24 昭48- 55621 昭50- 12981     デイジタルアナログ変換不揮発性半導体記憶装置 日立製作所 角南 英夫;堀内 勝忠
23 昭48- 38708 昭49-127581   991381 電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫
22 昭48- 29036 昭49-118378     無間隙電極電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫
21 昭48-? 9516 昭49- 98972     高速電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫;久保 征治;竹本 一八男
20 昭47-111140 昭49- 69090     ドリフト電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫
19 昭47- 88664 昭49- 48253     電荷移送装置 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭
18 昭47- 62411 昭49- 23555     アナログメモリ 日立製作所 角南 英夫;大矢 雄一郎;神垣 良昭;伊藤 容吉
17 昭47- 55057 昭49- 70578   927026 電荷移送形アナログデイジタル変換半導体装置 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭;伊藤 容吉
16 昭47- 34362 昭48-102980     表面電位検出素子 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭
15 昭47- 25636 昭48- 94372     全面被覆電荷移送素子 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭;伊藤 谷吉
14 昭47-? 6972 昭48- 77726     電荷移送形パタ−ン認識装置 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭;伊藤 容吉
13 昭47-? 5202 昭48- 75176     電荷移送半導体装置 日立製作所 増田 弘生;増原 利明;久保 征治;角南 英夫
12 昭47-? 1656 昭48- 74179   1007028 自己バイアス形電荷移送素子 日立製作所 伊藤 容吉;角南 英夫;神垣 良昭
11 昭46- 97119 昭48- 61015   867810 電荷移送撮像装置 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭
10 昭46- 97118 昭48- 61014     電荷移送素子における画像処理方法 日立製作 角南 英夫;神垣 良昭;高岡 スミ子;伊藤 容吉
9 昭46- 97117 昭48- 61081     移送方向可換電荷移送素子 日立製作所 角南 英夫;伊藤 容吉;神垣 良昭;高岡 スミ子
8 昭46- 91510 昭48- 56380     積分型電荷移送素子 日立製作所 角南 英夫;伊藤 容吉;神垣 良昭
7 昭46- 89938 昭48- 55674   907678 電荷移送素子における信号伝達方法及び装置 日立製作所 神垣 良昭;角南 英夫;伊藤 容吉
6 昭46- 89023 昭48- 54878   919809 アナログ電荷移送素子 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭;伊藤 容吉
5 昭46- 81693 昭48- 47234     高速電荷移送素子 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭;伊藤 容吉
4 昭46- 81691 昭48- 47233   859898 電荷移送形素子を用いたX−Y双方向シフトアレ− 日立製作所 角南 英夫;伊藤 容吉;猪瀬 文之;神垣 良昭
3 昭46- 75456 昭48- 42684     電荷移送形素子 日立製作所 神垣 良昭;角南 英夫;伊藤 容吉
2 昭46- 70397 昭48- 40385     電荷移送形素子 日立製作所 角南 英夫;神垣 良昭
1 昭46- 38676 昭48-? 6680   920616 電荷移送形素子 日立製作所 伊藤 容吉;角南 英夫
海外出願
Publication Number Title Publication Date Publication Country Assignee/Applicant Name Inventor Name
1
US3814955 CHARGE COUPLED SEMICONDUCTOR ELEMENT WITH NOISE CANCELLATION 1974/6/4 US Hitachi, Ltd. Itoh; Yokichi|Sunami; Hideo
2
US3852801 CHARGE-COUPLED SEMICONDUCTOR DEVICE PROVIDED WITH BIASING CHARGES 1974/12/3 US Hitachi, Ltd. Itoh; Yokichi|Sunami; Hideo|Kamigaki; Yoshiaki
3
US4013897 Information signal transfer method and a charge transfer 1977/3/22 US Hitachi, Ltd. Kamigaki; Yoshiaki|Sunami; Hideo|Itoh; Yokichi
4
US4041521 Shift array for pattern information processing device utilizing charge coupled semiconductor device 1977/8/9 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Itoh; Yokichi|Inose; Fumiyuki|Kamigaki; Yoshiaki
5
US4177391 Charge transfer semiconductor device 1979/12/4 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kubo; Masaharu|Takemoto; Iwao
6
US4210993 Method for fabricating a field effect transistor 1980/7/8 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo
7
US4355374 Semiconductor memory device 1982/10/19 US Hitachi, Ltd. Sakai; Yoshio|Koyanagi; Mitsumasa|Sunami; Hideo|Hashimoto; Norikazu
8
US4358093 Steel strip continuous annealing furnace 1982/11/9 US Kawasaki Steel Corporation Shimoyama; Yuji|Yanagishima; Fumiya|Sunami; Hideo|Suzuki; Munetoshi|Yamamoto; Hiromasa|Sakamoto; Gunji
9
US4363471 Steel strip continuous annealing apparatus 1982/12/14 US Kawasaki Steel Corporation Yanagishima; Fumiya|Shimoyama; Yuji|Sunami; Hideo|Ida; Yukio|Katsushima; Goji|Suzuki; Munetoshi|Ohnishi; Takeo
10
US4363472 Steel strip continuous annealing apparatus 1982/12/14 US Kawasaki Steel Corporation Shimoyama; Yuji|Yanagishima; Fumiya|Sunami; Hideo|Ida; Yukio|Katsushima; Goji|Ohnishi; Takeo|Fukushima; Takeo
11
US4455495 Programmable semiconductor integrated circuitry including a programming semiconductor element 1984/6/19 US Hitachi, Ltd. Masuhara; Toshiaki|Minato; Osamu|Shimohigashi; Katsuhiro|Masuda; Hiroo|Sunami; Hideo|Sakai; Yoshio|Kamigaki; Yoshiaki|Takeda; Eiji|Hagiwara; Yoshimune
12
US4498951 Method of manufacturing single-crystal film 1985/2/12 US Hitachi, Ltd. Tamura; Masao|Yoshihiro; Naotsugu|Natsuaki; Nobuyoshi|Miyao; Masanobu|Ohkura; Makoto|Sunami; Hideo|Tokuyama; Takashi
13
US4561909 Method of manufacturing T-3 grade low temper black plates 1985/12/31 US Kawasaki Steel Corporation Sunami; Hideo|Kuguminato; Hideo|Izumiyama; Yoshio|Yanagishima; Fumiya|Obara; Takashi|Mochizuki; Kazuo
14
US4641279 Semiconductor memory device having a dummy cell and a memory cell which is twice the size of the dummy cell 1987/2/3 US Hitachi, Ltd. Kimura; Katsutaka|Hori; Ryoichi|Ito; Kiyoo|Sunami; Hideo
15
US4656492 Insulated gate field effect transistor 1987/4/7 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Masuda; Hiroo|Kamigaki; Yoshiaki|Shimohigashi; Katsuhiro|Takeda; Eiji
16
US4670768 Complementary MOS integrated circuits having vertical channel FETs 1987/6/2 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Ohkura; Makoto|Kimura; Shinichiro
17
US4683838 Plasma treatment system 1987/8/4 US Hitachi, Ltd. Kimura; Shin-Ichiro|Murakami; Eiichi|Warabisako; Terunori|Miyake; Kiyoshi|Sunami; Hideo
18
US4692994 Process for manufacturing semiconductor devices containing microbridges 1987/9/15 US Hitachi, Ltd. Moniwa; Masahiro|Warabisako; Terunori|Sunami; Hideo
19
US4693173 Clean room 1987/9/15 US Hitachi Plant Engineering & Construction Co., Ltd.|Hitachi, Ltd. Saiki; Atsushi|Suzuki; Michio|Sunami; Hideo|Asai; Shojiro|Maki; Michiyoshi|Asami; Kinichiro
20
US4742018 Process for producing memory cell having stacked capacitor 1988/5/3 US Hitachi, Ltd. Kimura; Shinichiro|Sunami; Hideo
21
US4751557 Dram with FET stacked over capacitor 1988/6/14 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Kawamoto; Yoshifumi|Tamura; Masao|Miyao; Masanobu
22
US4860071 Semiconductor memory using trench capacitor 1989/8/22 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Hiraiwa; Atsushi|Wada; Yasuo
23
US4873203 Method for formation of insulation film on silicon buried in trench 1989/10/10 US Hitachi, Ltd. Kaga; Toru|Kimura; Shinichiro|Kure; Tokuo|Kawamoto; Yoshifumi|Sunami; Hideo
24
US4873560 Dynamic random access memory having buried word lines 1989/10/10 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kimura; Shinichiro|Kaga; Toru
25
US4901128 Semiconductor memory 1990/2/13 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Miyao; Masanobu|Kawamoto; Yoshifumi|Shimohigashi; Katsuhiro|Sakai; Yoshio|Minato; Osamu|Masuhara; Toshiaki|Koyanagi; Mitsumasa|Shimizu; Shinji
26
US4918502 Semiconductor memory having trench capacitor formed with sheath electrode 1990/4/17 US Hitachi, Ltd. Kaga; Toru|Kimura; Shinichiro|Sunami; Hideo
27
US4937641 Semiconductor memory and method of producing the same 1990/6/26 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Ohkura; Makoto|Miyao; Masanobu|Kusukawa; Kikuo|Moniwa; Masahiro|Kimura; ShinIchiro|Warabisako; Terunori|Kure; Tokuo
28
US4967247 Vertical dynamic random access memory 1990/10/30 US Hitachi, Ltd Kaga; Toru|Kawamoto; Yoshifumi|Sunami; Hideo
29
US4984030 Vertical MOSFET DRAM 1991/1/8 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Kawamoto; Yoshifumi|Tamura; Masao|Miyao; Masanobu
30
US4984038 Semiconductor memory and method of producing the same 1991/1/8 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Ohkura; Makoto|Miyao; Masanobu|Kusukawa; Kikuo|Moniwa; Masahiro|Kimura; ShinIchiro|Warabisako; Terunori|Kure; Tokuo
31
US5012310 Semiconductor memory having stacked capacitor 1991/4/30 US Hitachi, Ltd. Kimura; Shinichiro|Kawamoto; Yoshifumi|Kaga; Toru|Sunami; Hideo
32
US5017981 Semiconductor memory and method for fabricating the same 1991/5/21 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Kawamoto; Yoshifumi
33
US5106775 Process for manufacturing vertical dynamic random access memories 1992/4/21 US Hitachi, Ltd. Kaga; Toru|Kawamoto; Yoshifumi|Sunami; Hideo
34
US5214496 Semiconductor memory 1993/5/25 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Miyao; Masanobu|Kawamoto; Yoshifumi|Shimohigashi; Katsuhiro|Sakai; Yoshio|Minato; Osamu|Masuhara; Toshiaki|Koyanagi; Mitsumasa|Shimizu; Shinji
35
US5237528 Semiconductor memory 1993/8/17 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Miyao; Masanobu|Kawamoto; Yoshifumi|Shimohigashi; Katsuhiro|Sakai; Yoshio|Minato; Osamu|Masuhara; Toshiaki|Koyanagi; Mitsumasa|Shimizu; Shinji
36
US5266815 Semiconductor integrated circuit device having superconductive layer and isolation member with nitride isolation 1993/11/30 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Nishino; Toshikazu|Shukuri; Shoji|Wada; Yasuo|Misawa; Yutaka|Kato; Takahiko
37
US5357131 Semiconductor memory with trench capacitor 1994/10/18 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Kawamoto; Yoshifumi|Tamura; Masao|Miyao; Masanobu
38
US6028800 Sense amplifier driver having variable power-supply voltage 2000/2/22 US Hitachi Ltd, of Japan Akiba; Takesada|Kitsukawa; Goro|Otori; Hiroshi|Nakamura; Masayuki|Sunami; Hideo|Hyslop; Adin
39
US6060723 Controllable conduction device 2000/5/9 US Hitachi, Ltd. Nakazato; Kazuo|Itoh; Kiyoo|Mizuta; Hiroshi|Shimada; Toshikazu|Sunami; Hideo|Teshima; Tatsuya|Mine; Toshiyuki|Yamaguchi; Ken
40
US6169308 Semiconductor memory device and manufacturing method thereof 2001/1/2 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Itoh; Kiyoo|Shimada; Toshikazu|Nakazato; Kazuo|Mizuta; Hiroshi
41
US6211531 Controllable conduction device 2001/4/3 US Hitachi, Ltd. Nakazato; Kazuo|Itoh; Kiyoo|Mizuta; Hiroshi|Shimada; Toshikazu|Sunami; Hideo|Teshima; Tatsuya|Mine; Toshiyuki|Yamaguchi; Ken
42
US6355517 Method for fabricating semiconductor memory with a groove 2002/3/12 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Kure; Tokuo|Kawamoto; Yoshifumi
43
US6642574 Semiconductor memory device and manufacturing method thereof 2003/11/4 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Itoh; Kiyoo|Shimada; Toshikazu|Nakazato; Kazuo|Mizuta; Hiroshi
44
US6825527 Semiconductor memory device and manufacturing method 2004/11/30 US Hitachi, Ltd. Sunami; Hideo|Itoh; Kiyoo|Shimada; Toshikazu|Nakazato; Kazuo|Mizuta; Hiroshi
45
US7019359 Controllable conduction device with electrostatic barrier 2006/3/28 US Hitachi, Ltd. Nakazato; Kazuo|Itoh; Kiyoo|Mizuta; Hiroshi|Shimada; Toshikazu|Sunami; Hideo|Teshima; Tatsuya|Mine; Toshiyuki|Yamaguchi; Ken


特許の勧め<著書まえがき抜粋> / Patent application guide for fresh engineers    拙書:「技術者のための特許事始―半導体技術を中心として」(コロナ社、2008年1月)→ 目次.pdfで、技術開発を始めたばかりの若い技術者に特許を書くことを勧めている。私の意図を著した前書きの抜粋を記す。

●第一の目的
 本書の第一の目的は、若い技術者が抱きやすい発明と特許に対する誤解をまず解くことである。研究開発に従事して間もない時期に適切な特許教育を受けていないと、「発明というものはエジソン級のたいそうなもので、私にはとうてい発案できそうもない」と考え、「特許とは企業間の厳しい係争をもたらすような強力なものである」などと、自らやる気を殺いでしまいがちである。
 具体的に図1.1を用いて説明しよう。たとえば、まず図中Aに示すように研究開発の成果が高度であればあるほど、または学術的に高い研究成果であればあるほど、他企業に勝る技術や製品を実現する有効な特許が生まれると考える。知識・経験が乏しい自分にはまともな特許は書けないとあきらめている。しかし事実はむしろ下図中Bに示すように研究開発の高度性と特許の有効性にはほとんど関連性はなく、逆説的にいえばCに示すように逆の関係を示す場合さえある。
 この逆の関係には時間の要素が大きい。学術的に高度な成果を実用化するには長い時間が必要である。特許の有効期間は出願から20年、登録から15年であるから、実用化にそれ以上の時間がかかると、その特許は徒労に帰す。 <中略>




図1.1 発明の水準と特許の有効性

 また、包括的で基本的な(ジェネリック)特許は経験を重ね、熟練技術者になれば生まれると考えがちであるが、現実はそうではない。むしろその研究開発に従事した初期に斬新で有力な特許が生まれることが多い。多くの技術者は熟達すればするほど先が見え、その技術の限界を感じる。知らず知らずに自らの創造性を狭くする。それに比べ、初心者は限界を感じないがゆえに、現実の制約を超えた挑戦的な発案をすることがある。その期間の目安は5年である。創造的緊張を維持し、研究的好奇心を保てる平均的な期間と考える。つまり、むしろ若い技術者こそすばらしい特許を生み出すポテンシャルが高いといえるのである。決定的な独創性が要求される数学や理論物理の世界では当たり前なこの事象は特許についても当てはまるといえよう。  <中略>

●第二の目的
 第二の目的は第一と対をなすもので、他企業に優位な立場を確立できる有効な特許の権利化には熟達した技が不可欠で強い意志が必要であることを述べる。斬新な発案については若い技術者が優位なことは上に述べた。しかし“良い発明”を淡々と記述するだけでは“良い特許”にはなりえない。斬新で挑戦的な発明をしても、そのままでは磨かれざる原石である。有効な請求範囲を設定できず、また包括的で有用な実施例を提案することができず競合企業の類似製品の発売を阻止できない恐れがある。みすみす大きなビジネスチャンスを失う。特許を仕上げる熟達した技を若い技術者に期待するのは、無理筋である。発案者と特許部門の緊密な連携が必要である。 <中略>

 本書は、現実を赤裸々に表したいがため、あえて逆説的な言い方をする場合がある。時には「有力な特許を生むには、高度な研究開発は有効ではない」かの印象を与えかねないが、それは筆者の意図するものではない。あくまで、研究開発に携わってから間もない若い技術者に、思いこみがちな発明や特許の壁を低くし、現実を知った上で自らの特許をよりよくするための手引きであることを忘れないでいただきたい。
 また、どんな製品群のどんな段階の研究開発でも、優れた頭脳が徹底的に知恵を絞れば、ニーズからシーズを生み出し、強力な特許が生まれる可能性が高まることを強調したい。優れた頭脳とは、正解があるペーパーテストで高い点数がとれることではない。あふれ出る好奇心と、長く保ち続ける集中力だと筆者は考える。また、このような優れた頭脳が、二人、三人と複数でアイディアを出し合って磨きあえば、包括的でより完成度の高い特許が生まれる。ここに参加して貢献するにはコミュニケーション能力も大事であり、大いにそれを磨いて欲しいと期待する。



   I am recommending to apply patents in my book "Patent applicationguide for engineers"(Corona Pub. Co, January 2008)-> for fresh engineers who start research and developmet. My intention written in the preface is as follows.

●Pricipal purpose
 A principal purpose of this book is to clear up what beginner engineers are apt to misunderstand for invention and patent. If they do not take adequate lessons for patent, they are likely to think that a level of invention should be that of what Edison did and then they will not able to do it as he did. Furtheremore, they may think that patent should be strong enough to give rise to strong competition between companies leading to spoiling their willingness.
 Actual examples are shown in Fig. 1.1. For instance, as shown in Fig. 1.1A, they think that the higher a level of research and development or acamedic performance is, the more powerful its patent is. Thus, they tend to give up to write a strong patent superior to others blaming their poor experience and knowledge. But, actually, the powerfullness of the patent does not correlate with the level of R&D as shown in B, rather a reverse correlation, as shown in C, is shown paradoxically.
 The reverse correlation strongly depends on time. A very long time is needed to put academically high-level results to practical use. The effective period of patent is 20 years from its applied time or 15 years form its registered time. Therefore, if the implementation period exceeds those periods, the patent will become invalid. <・・・>




Fig. 1.1 Level of invention and the effectiveness of its patent.

 It is thought that only expert engineers with fullof experience can create generic patent however, it is not neccessarily true actually. It is well recognized that novel patent is frequently created in early period when the engineer begins to be engaged in the R&D. The more skillful most of engineers are, the less creative they become. They can well forecast the future thinking of the limits, then they shrink their creativity. On the contrary, since fresh engineers can not estimate the limits they can challenge the breakthrough and create innovtive patents. I think a criterion of the period is 5 years. During 5 years, they can keep inteligent curiosity and a tention for creativity. Thus, rather fresh engineers have a strong potential to create innovative and generic patents. This is very common in fields of mathematics and theoretical physics where absolute creativity is required. This is also common to patent creation.  <・・・>

●The second purpose
 The second puirpose makes a pair with the principal one. It is described that strong will with expertise is required to win the patent right which is superior to others. It has been already cited above that fresh engineers have an advantage in innovative patent creation. However, simple and plain descriptions can not make a strong patent even if it contains an inovatiove invention. It's like an unpolished ore of diamond. It may not make effective claims with useful applications leading to the loss of effective patent right to rival companies. Consequently, the patgent holder tends to lose business chance. It is unreasonable to require expertise for patent creation to fresh engineers. Close collaboration between an inventorinventor and patent office is inevitable. <・・・>

 Paradoxical expressions are sometimes descibed in this book to reveal naked facts. I am afraid that they may give rise to misunderstanding that high-level R&D is not effective to create strong patents. But, it is not my intention. I would like to emphasize that this book is written for fresh engineers who may easily misunderstand that they need very high-level inventions to create patents. This book is a guide for them to get rid of the barrier of the patent creation.

 In addition, I would like to emphasize that close collaboration among expert engineersmakes a high-level potential to create strong patents even at any stages of R&D giving birth to seeds from the needs. A superb brain is not that can win a high score in written examination but that can keep concentration and curiosityfro technologies. Whne a few people who hold such brains can make generic and strong inventions and patents. To do that, they need a good communication ability.


特許分割 / Division of patent applied    特許を申請した後、その特許の登録をするためには様々な手続きを経た後に登録されるか却下されるかの裁定が下る。その過程において、他社からその特許を登録させないために異議申し立てという過程がある。申請者はその異議が該当しないとの回答を行わなければならないが、その過程において原特許の記載範囲を逸脱しないように、請求範囲を減縮したり、いくつかの特許に分割することができる。
 筆者が行ったトレンチキャパシタセル特許の登録過程における典型的な例を示そう。詳しくは「技術者のための特許事始―半導体技術を中心として」(コロナ社、2008年1月)→ 目次.pdfに記載している。

●最初の出願の請求範囲
 最初のトレンチキャパシタ特許:特願昭50-53883「半導体記憶装置」は、下記の請求範囲であった。この申請特許の概念を図2.1に示す。

 一主表面を有する{110}面とその近傍20度以内の第1導電型半導体基板、該主表面に内側の壁が{111}面とその近傍10度以内の細孔を持ち、該細孔全面あるいはその一部に第2導電型の領域を形成しこれをドレインとし該細孔の第2導電型領域とこれと離間して配設された第2導電型の領域をソースとし、該ソースとドレインの間の上記半導体基板表面上に絶縁膜を介してゲート電極を配設し、上記ドレインと基板の間の接合容量を情報蓄積部とした半導体記憶装置。




図2.1 最初のトレンチキャパシタセル特許の最初の3図面

 本請求範囲には、実質的に致命的に有害な限定が二つ含まれている。特許技術に疎いのにもかかわらず、自分のみで明細書を書き上げた若気の至りである。のちに、“特許技術” というものが確かに存在することを認識することになる。その限定とは、下記の二つである。

  (有害な限定-その1) エッチング方法や、基板の方位を限定した→このままだとドライエッチングで(110)以外の面に形成した
                細孔キャパシタは含まれない。
  (有害な限定-その2) キャパシタを接合容量と限定した→これでは本命のMOSキャパシタが含まれなくなる。

  その1は当時、垂直なSi細孔を形成できるドライエッチングが知られていなかったための、限定である(少なくともエッチングの専門家ではなかった筆者は知らなかった)。しかし、幸運なことに、明細書の最後のほうに「細孔を形成する方法を限定しない」という記述を付け加えていたお陰で、最終的にこの限定をはずすことができた。

 その2は、これも幸運なことに、自分ではこう限定しながら、<中略>MOSキャパシタの図面を加えていたことから、やはりこの限定をはずすことができた。 審査請求に対して、特許庁からの最初の拒絶理由にはいくつかの公知例が挙げられた。対処した主な二つの先願特許の次に述べる。

●拒絶査定に対する反論

(1) バイポーラトランジスタ+トレンチキャパシタ
 その一つは米国T社の先願:特願昭48-61739(昭和48年6月1日)、優先権主張は1972年6月2日(米国)である。この先願は、図2.2に冒頭の図面を示すように、バイポーラトランジスタに溝キャパシタを組み合わせた構造である。構成は酷似しているが、バイポーラであること、「メモリセル」としての使い方には言及していない事を訴えて、退けることができた。  <中略>




図2.2 トレンチキャパシタ付きバイポーラトランジスタ

(2) 電子回路のコンデンサー
 もう一つは、図2.3に示す小型電子回路の薄膜コンデンサーである。従来のコンデンサーは電極の端部が鋭く、電解集中による絶縁破壊を起こしやすいが、基板に丸い穴を形成することによって鋭い端部の発生を抑え、絶縁破壊耐圧を向上させるものである。
 これはメモリセルには言及していないが、溝状のコンデンサーという点で、厳しい公知例となった。最終的に、異なる技術であると査定された主な根拠の一つは、明細書に「メモリセルをマトリックス状に配設してメモリーを構成する」というくだりがあり。このマトリックス状という文言が決定的な役割を演じた。図2.4に明細書図面の一部を示す。
 半導体メモリである限りマトリックス状に配列するのは当然で、当たり前の技術である。しかし、現実のメモリを実現するには必然的な構成であり、そのような必然性がある構成は、当たり前と思っても明確に記述せよとの教訓である。これも、退けることができた。




図2.3 公知例その2:小型電子回路の薄膜コンデンサー




図2.4 メモリセルをマトリックス状に配列

●修正した請求範囲
 そして、細孔形成条件を削除し、DRAMセルの最小構成要素に限定して、請求範囲を修正した。下記の通りである。

 情報蓄積部である容量と絶縁ゲート型電界効果型電界効果トランジスタを含んでなる半導体記憶装置において、上記容量は、半導体基板の主表面から上記基板内部に向けて形成された細孔と、該細孔の表面上に積層して形成された絶縁膜および容量電極からなることを特徴とする半導体記憶装置。

 このように修正できた。これも、「細孔を形成する方法を限定しない」という記述があり、かつ実施例にMOSキャパシタを加えていたのが決定的に役だった。可能な限り実施例を充実せよという教訓である。

●五つに分割した特許  
 この請求範囲で、特許が公告された。多くの企業から異議が申し立てられ、それらをふまえて、最終的に下記に示すように、原特許は五つに分割された。現在では難しくなっていると聞くが、当時では異議申し立てに伴って比較的容易に分割できたのである。その結果、発明者に大いに有利な請求範囲を設定することができた。

   (1) 特願昭58-217716: キャパシタ電極が二つ。
   (2) 特願昭58-217717: キャパシタ絶縁膜と駆動トランジスタの絶縁膜が異なる。
   (3) 特願昭58-217718: 溝キャパシタと駆動トランジスタがマトリックス状に配列。
   (4) 特願昭58-217719: 溝キャパシタ電極をSiで形成。  
   (5) 特願昭61-104651: 開孔より深い溝のキャパシタ。

 集積回路のエキスパートはこれらがどれだけ有効であるかわかるであろう。とくに最後の「開孔より深い溝のキャパシタ」は、現在の主流のDRAMセルであるシリンダ型のスタックキャパシタセルを含むから、この特許は年間世界市場規模が3兆円弱のDRAM全てに適用されていることになる。残念ながら、特許は出願後20年、つまり1995年に失効しているのでロイヤリティは請求できない。もし、クロスライセンス交渉の切り札の一つとして使われていたなら、莫大な貢献をしたことになるが、交渉内容は明らかにされていないから真偽のほどはわからない。


 After a patent is applied to the Goverment Patent Office, various kinds of actions are needed for the patent registrtion. After that, a final decision of registration ot rejection is made. Through the process, there is a process of formal rejection(s) by other organization(s). The applicant should reply to them that his patent does meet the objection(s) if he wants to make it awarded. Through the process, he can reduce the original claims and/or divide the original patent into two or more patents so as to keep modified claims within the original ones
 Let me show you a typical example of my trench capacitor cell application. Details are described in my book of "Patent application guide for engineers (in Japanese)" (Corona Pub. Co., Jan. 2008)→ contents.pdf.

●Claims in the first application
 A claim of the first trench capacitor cell patent of Tokugansho 50-53883, applied in 1975, entitled "Semiconductor memory devices" is as follows. The top 3 figures of the patent are shown in Fig. 2.1. (Note, since the patent was not applied to overseas patents, this claim was not real but virtual.)

 Semiconductor memory device, of which storage portion is a junction capacitance between a drain and a substrate, having a major surface ,of which surface is {110} or within 20 degrees from the {110}, with the first conductivity type and said drain which is formed on a surface of a trench formed on that major surface, of which inner wall is {111} surface or within 20 degrees from the {111} surface; having a source, with the second conductivity type, which is separated with said drain; having a gate electrode whichn is separated by an insulator from said drain and said source.




Fig. 2.1 Three figures in the first patent application for trench-capacitor cell.


 There were two fatal limitations in the original claim. This was because that I made the claim only by myself despite that I was lacking patent expertise. Thjen, I have recognized later there surely exist patent formation techniques. The fatal limitations are as follows.。

(Fatal limitation-A) An etching method and a substrate orientation are limited. Terefore, this claim is not effective to trench capacitor engraved with dry etching.
(Fatal limitation-B) The capacitor is limited to a junction capacitance. Then, major MOS capacitor is not included.

  Concerning A, a dry etching method which could engrave vertical trench into the substrate might not availabe available in mid 70's. I was not familiar with dry etching technique anyway. But, very fortuately, I wrote down a description that a method to engrave trenches was not limited to anyone. Therefore, I could delete the limitation concerning an etching method.
 Concerning B, fortunately also, even if I limited the capacitor to a junction type, I illustated an MOS capacitor in the descriptions.<・・・> Then I colud also delete the limitation.

 Against our request for the examination of the patent, several prior arts were described by the Japanese Patent Office. Major two arts and our action to them are shown below.


●Counterarguments againt rejections of patent office

(1) Prior art-1:Bipolar transistor with a trench capacitor
 One of the prior arts was Tokugansho 48-61739 filed on June 1, 1973 inJapan and filed on June 2, 1972 in the US applied from US T-company. As shown in Fig. 2.2, this was a structure of combionation of a bipoklar transistor and a trench capacitor. Despite the structure looked like that of the trench patent, that patent did not refer both to MOS transistor and to memory cell. Thus we aucc succeeded that objection. <・・・>




Fig. 2.2 One prior art: bipolar trasnsistor with a trench capacitor

(2) Prior art-2: Condenser in electric circuits
 Another prior art was a thin-film capacitor as shown in Fig. 2.3. A purpose of that patent was to aim at the improvement in dielectric field breakdown by reducing electri-field concentration due to sharp edges of conventional capacitor. This did not refer to memory cell,however this was a strong objection in temrs of trench capacitor.
ppThe major reason why we could avoid this objection was that matrix arrangements of memory cells were written in descriptions as shown in Fig. 2.4. This words of "matrix arrangements" payed a decisive role to avoid the oblection. It is very natural that the matrix arrangement is composed in memory. Even if it is a well-known structure, it should be clearly described it if it is inevitable structure. Thus we succeeded in rejection of the objection. This was a precious experience for us.




Fig. 2.3 Another prior art: A thin film condenser in electric circuits.




Fig. 2.4 Figures of matrix arrangements described in the manuscript opf the patent.

●Revised claims
 Finally, the claim was limited to a minimum construction of DRAM cell written below, deleting descriptions related to formation condition of the trench.

 In a semiconductor memory device which contains an insulated-gate filed-effect transistor and a capacitor as a strorage element, it features that said capacitor is constructed with a trench extending into major substrate surface and a insulator and an electrode both of which are deposited on wall surface of said.

 Thus, the claim was modified. Descriptions that a method to form the trench was not limited and an application example with MOS capacitor played a decisive role for awarding of the patent. This is a lesson that applications should be enriched as many as possible.

●The first patent divided into 5 ones  
ppAfter the patent was notified publicly, many objections were given rise to from a lot of companies. In response to those, the patent was divided into five ones as described below. I have heard that this kind of the division in response to oblections has become difficult today, but it was rather easy at that time, when claims could be modified to be profittable to the applicant.

   (#1) Tokugansho 58-217716: Two kinds of capacitor electrodes.
   (#2) Tokugansho 58-217717: Two different insulators for a capacitor insulator and a drive transistor.
   (#3) Tokugansho 58-217718: Matrix arrangement of trench capacitors and drive transistors.
   (#4) Tokugansho 58-217719: Trench capacitor elecrode made by polysilicon.  
   (#5) Tokugansho 61-104651: Trench capacitor deeper than its opening size.

 Expert engineers can easily recognize that these patents are so powerful. Almost all DRAM's must utilize almost all of these. As the last #5 patent includes a cylinder-type stack capacitor cell which is used in major DRAM's today, it is used in all DRAM's to date, of which market volume is around 30 B$ a year. To my deep regret, the patent had already become invalid because 20 years had passed since the date of application of June 1975. If this might has been used as a final bargaining chip at cross-license negotiation, this had contributed to it to a huge extent.


クロスライセンス / Cross license●クロスライセンスとは
 最先端産業の分野でしのぎを削っている企業間では、互いに有効な多くの特許を保持していることが多い。このような企業間で互いに特許侵害係争が起こると、平和的な解決手段の一つとして、特許ライセンス交渉が始まる。図3.1に示すように相手企業が侵害していると推定した特許を列挙し、その生産量と価格に一定のライセンス料率をかけて、すべてを積算する。一つの製品に複数の特許を侵害していると推定すると、逐一侵害の内容を判断していかなければならず、かなり複雑なマトリックスで大変な作業量を伴う。典型的な半導体関連のクロスライセンス交渉は次のような性格をもつ。

  (1) 半導体では、特許数、製品とも数100件
  (2) 全体で10万を超える案件の侵害調査必要
  (3) 完全な調査は不可能なので、上からせいぜい数件を審議
  (4) 互いの全体金額があまり変わらなければ、包括クロスライセンス、違えば金銭授受

したがって、
  (5) 生産額の大きな企業が痛手
  (6) 一番怖いのは生産をしない個人の特許(クロスに持ち込む案件がない)

という側面を持つ。


図3.1 クロスライセンス交渉における請求する特許料リストの提示

●クロスライセンスの締結
 数百に上った特許の一つ一つを精査することは不可能に近い。それでなくとも紛争が長引けば、特許侵害の疑いのある部品を使っているセットメーカーに迷惑がかかるおそれがあり、両企業の双方にとって得策ではない。そこで、製品ごと、あるいは技術ごとの個別積算額の大きい順に並べて、主なものについてだけ損得勘定をするようである。実際は、数百億円を上回ることもあるらしい。どこまで差があれば、帳尻をあわすために特許料を支払うかは、公にはならない両企業の私的な取り決めによるから、筆者には知るよしもない。
 企業間はこのように合意に達すると、互いにクロスライセンスを結び、取り決めによって特許料(ロイヤリティ)を支払うことなく、自由にお互いの特許を使うことができる。特に集積回路のような、複雑で多岐にわたる技術群、製品群が特徴の半導体業界では、大手企業は互いにクロスライセンスを結んでいるようである。

●課題1:独占禁止法に抵触の恐れ
 このクロスライセンスには二つの課題がある。一つは、先進企業間でクロスライセンスの輪ができると、新興企業がその輪に入りにくいことになり、独占禁止法に抵触するとの懸念が生じることである。筆者は、法的にどのような議論がされてきたのかは知らないが、懸念が生じるたびに、「疑わしきは罰せず」となってきたと理解している。先進企業が、リソースを投入し、その結果独創的な発明が生じるのは、先進投資の見返りとして当然であるという判断であろうか。また、「世界的に強力な企業の力を弱めることが、国として大いなる損失」であるとしたら、「司法の腕が鈍る」のではないかという懸念を、筆者が何年かに一度必ず感じてきたものである。

●課題2:発明自体の過小評価
 もう一つは、発明者の成果が過小に評価されるきらいがあることである。図3.2の上半分に示すように、A、B二社のそれぞれの特許(a)、(b)が、それぞれ他社から100億円の特許料(ロイヤリティ)を受け取れるとしよう。互いに100億円をやりとりすることは、金銭が動かないことと同じであるから、クロスライセンスを結べば、図中下半分に示すように、二つの特許(a)、(b)は、実質的に有効ではないことになる。金銭のやりとりがないことは税法上も得策であるのかもしれない。  



図3.2 クロスライセンスのもう一つに課題 : 発明者の成果が過小評価される。


  懸念事項は、発明者に対する有形無形の報償である。有効でない特許に、A社、B社が、それぞれの発明者α、βに相応の報奨を与えるであろうか。もし相応の報奨を与えないとしたら、成果に対する報償として問題はないのであろうか。<中略>、今後優れた技術で市場での地位を上げようとするなら、発明者への報償に対して企業の姿勢を明確にしていかねばならないだろうと思う。


●What is cross license?
 Among companies who are competing each other at the forefront of the industry, it is probable that they are holding strongly effective patents each other. When a dispute occurs between two companies on the infringe on patents, they will start a negotiation of cross license as a peaceful means. As shown in Fig. 3.1, they pick up patents on which the opponent is suspected to infringe and then sum up total royalties in terms of output and royalty rate for all products concerned. To win the negotiation, they tend to pick up patents as many as possible. Then, enormous amount of work with complex matrices is given birth to in order to check each validity for each item. A typical negotiation is characterized as follows

    (1) Number of products and related patents may exceed several hundrends in semiconductor industry.
    (2) Invetigation for more than 100 thousand items on the infringe is sometimes be required.
    (3) Thus, a complete investigation looks unreal, therefore several top patents will be argued.
    (4) If both summations look almost equivalent, they will conclude a global cross license. If different, one will pay
      the balance to another.

Therfore,
    (5) One company who is producing a lot than another is has an disadvantage.
    (6) The strongest opponent may be an individual who does not produce at all. Because he does not infringe on any patent.


Fig. 3.1 Presentation of royalty list at cross-license negotiation.


●Conclusion of cross license
 It looks impossible to check more than several hundreds of patents concerned. If a negotiation becomes delayed, set makers who are put parts in their products will have troubles to sell them to customers. This will be disadvantageous to both. Terefore, they will pick up several top items in terms of the sum, then they will negotiate each other. It is likely to be rare that the total sum exceeds 1 B$. Since the nogotiation is carried out in strictly confidential manner, nobody outside knows how the negotiation goes.
 When companies concerned agree in the negotiation, they conclude a cross license and will use another company's patents without or with pay. Since thre are a lot of complex technologies and very wide variety of products in semiconductor industry, big companies are likely to conclude a treaty on cross license eath other.

●Problem-1: possible violation of antitrust law
 There exist two problems for the cross license. Once a cross-license link is settled among advanced companies, new comers are hard to get into the industry. It looks like a violation of antitrust law. I do not know that argument in law world however, I remember they say "suspision alone is not grounds for punishment"everytime the problem occurs. It is understandable that advanced companies have invested a lot to their R&D and then they create innovative inventions and patents as the compensation. If to weaken world strong enterprise will be disadvantageous to them, they may not be strict to the decision. I have been felt every several years.

●Problem-2: :underestimation of invention
 Another problem is that the invention and its inventor are likely to be underestimated without an adequate compensation. Provided that a company-A can get 100 M& from another company as a royalty on a patent (a) and vice versa for a company-B on a patent (b), as shown in the upper portion of Fig. 3.2. Consequently they do not pay any to each other with a conclusion of cross license. It may be advantageous on tax law. But, patents (a) and (b) do not look efficient consequently. looks.



Fig. 3.2 Another problem of cross license: underestimation of invention.

 A problem is concerned with material and/or immaterial compensations to inventors a and b. Companies A and B may not give adequate compensations to inventors a and b, respectively. Is this a real problem or not? <・・・> To keep or to raise their positions in industry, they should make their attitude clear concerning this issue and offer adequate incentives to employees, I believe.


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